Calibration procedure for an optical thickness measurement : a case study / S. Spadoni, G. Garatti, D. Lodi, I. Veronese, D. Zappa - In: Proceedings of the international conference on modeling and analysis of semiconductor manufacturing : MASM 2002 : April 10-12, 2002, Wyndham Buttes Resort, Tempe, ArizonaSan Diego : Society for computer simulation international, 2002. - pp. 335-340 (( convegno International conference on modeling and analysis of semiconductor manufacturing : MASM tenutosi a Tempe (Arizona) nel 2002.

Calibration procedure for an optical thickness measurement : a case study

I. Veronese;
2002

Settore SECS-S/02 - Statistica per La Ricerca Sperimentale e Tecnologica
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