IRIS Institutional Research Information System - AIR Archivio Istituzionale della Ricerca
IRIS è il sistema di gestione integrata dei dati della ricerca (persone, progetti, pubblicazioni, attività) adottato dall'Università degli Studi di Milano.
AIR nasce in UNIMI nel 2006 con lo scopo di raccogliere, documentare e conservare le informazioni sulla produzione scientifica dell'Università degli Studi di Milano e costituisce di fatto l'Anagrafe della ricerca dell'Ateneo.
EnglishCalibration procedure for an optical thickness measurement : a case study / S. Spadoni, G. Garatti, D. Lodi, I. Veronese, D. Zappa - In: Proceedings of the international conference on modeling and analysis of semiconductor manufacturing : MASM 2002 : April 10-12, 2002, Wyndham Buttes Resort, Tempe, ArizonaSan Diego : Society for computer simulation international, 2002. - pp. 335-340 (( convegno International conference on modeling and analysis of semiconductor manufacturing : MASM tenutosi a Tempe (Arizona) nel 2002.
| Titolo: | Calibration procedure for an optical thickness measurement : a case study |
| Autori: | VERONESE, IVAN (Penultimo) |
| Settore Scientifico Disciplinare: | Settore SECS-S/02 - Statistica per La Ricerca Sperimentale e Tecnologica |
| Data di pubblicazione: | 2002 |
| Tipologia: | Book Part (author) |
| Appare nelle tipologie: | 03 - Contributo in volume |
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