Calibration procedure for an optical thickness measurement : a case study / S. Spadoni, G. Garatti, D. Lodi, I. Veronese, D. Zappa - In: Proceedings of the international conference on modeling and analysis of semiconductor manufacturing : MASM 2002 : April 10-12, 2002, Wyndham Buttes Resort, Tempe, ArizonaSan Diego : Society for computer simulation international, 2002. - pp. 335-340 (( convegno International conference on modeling and analysis of semiconductor manufacturing : MASM tenutosi a Tempe (Arizona) nel 2002.
Calibration procedure for an optical thickness measurement : a case study
I. VeronesePenultimo
;
2002
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
