Statistical Aspects of Size Functions for the Description of Random Shapes. Applications to Problems of Lithography in Microelectronics / A. Micheletti, F. Terragni, M. Vasconi. - In: ECMI NEWSLETTER. - ISSN 1013-9338. - 40:(2006 Oct), pp. 24-28.
Statistical Aspects of Size Functions for the Description of Random Shapes. Applications to Problems of Lithography in Microelectronics
A. Micheletti;
2006
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